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科学研究
高低温探针台
发布时间：2014-04-09
浏览次数：
| 仪器详细信息： | ||
| 仪器名称 Name： |
高低温探针台 Probe Station |
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| 仪器型号 Model Number： |
ST-500-2-(4TX-6PORTS) | |
| 生产商 Manufacture： |
Janis Research Company | |
| 主要技术指标： Specifications： |
l ST-500低温真空探针台，振动水平 +/- 25 nm；漂移：+/- 150 nm 30分钟； l 系统包括8 英寸样品台，可容纳8英寸样品。温度范围：液氦：6K-475K；液氮：80K-475K。温度均匀性+/-0.05K以内。 l 探针台提供6个探针臂端口，4个独立的微操作探针臂 |
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| 主要配件： Accessories： |
l 系统快速升温包 l 9700控温仪 l 光学显微镜 l 爱德华TP-70-2分子泵 l 泵与探针台之间波纹管 l 减振桌 l 便携式超静音空气压缩机 l 50升液氮杜瓦 l 30升液氦杜瓦 |
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| 应用范围： Application： |
6-475K温度范围内6-8寸wafer上器件I-V特性测试 | |
| 联系人： Contact: |
林老师 0755-26032486 Xnlin@szpku.edu.cn | |